发布时间:2024-10-16 16:15:01
镍钛合金靶材是一种由镍和钛两种金属元素组成的溅射镀膜材料,具有形状记忆效应和超弹性特性,镍钛合金的名称“Nitinol”又称形状记忆合金。具有优异的力学性能,如高弹性模量、高强度和良好的韧性,使其能够承受较大的应力和变形。***的耐腐蚀性能,能够在恶劣环境中长时间保持其稳定性。
镍钛合金靶材的常用规格
1.圆形靶材:
直径方面,常见的有2英寸(约50.8毫米)、3英寸(约76.2毫米)、4英寸(约101.6毫米)等。厚度一般在3-10毫米左右。这些尺寸的靶材在小型至中型的镀膜设备中应用广泛,例如实验室的科研设备以及一些小型的工业镀膜生产线。 2.矩形靶材: 常见的尺寸有100毫米×100毫米、150毫米×150毫米、200毫米×200毫米等。这种矩形的靶材在一些大型的镀膜设备或者需要大面积镀膜的场景中使用较多,比如大面积的玻璃镀膜、平板显示器的镀膜等。 3.管靶材: 外径:医疗植入用镍钛合金管的外径通常在0.3-30毫米,一些非医用的镍钛合金管外径范围可能会更大。壁厚:一般来说,镍钛合金管的壁厚在0.1-10毫米左右。具体的壁厚会根据管材的外径、使用要求和应用场景等因素来确定。 4.镍钛合金棒: 常见的镍钛合金棒直径范围在2-200毫米左右。镍钛合金棒的长度通常在0.5-3米左右。但也可以根据客户的具体需求进行定制切割,长度范围可根据实际应用需求进行调整。 镍钛合金靶材的制备方法
镍钛合金靶材的制备方法通常包括以下几个步骤:
1.原料准备:选择高纯度的镍和钛金属作为原料,确保靶材的纯度和性能。 2.熔炼与浇铸:将镍和钛金属按一定比例混合后在保护气氛下进行熔炼,得到合金熔体。然后将熔体浇铸成铸锭,冷却后得到镍钛合金铸锭。 3.锻造与退火:对铸锭进行锻造和退火处理,以消除内部组织疏松和残余应力,提高靶材的均匀性和稳定性。 4.轧制与二次退火:对锻造后的合金材料进行轧制和二次退火处理,以细化晶粒并促进内部组织均匀性。 5.机加工与检测:对轧制后的合金材料进行机加工,包括车削去除氧化皮和线切割外圆等步骤。然后进行检测、清洗、干燥和包装,最终得到镍钛合金溅射靶材。